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产品名称:膜厚监控探头
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产品厂商:中科光智
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简单介绍:
监控镀膜过程中的速率和累积的膜厚
详情介绍:
通过检测晶振片的振荡频率反馈,再根据预设的材料和厚度因子,计算出厚度增加值
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