电子束镀膜系统 VDE-150ETF 中科光智（西安）科技有限公司

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产品名称：电子束镀膜系统
产品型号：VDE-150ETF
产品厂商：中科光智
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简单介绍：

VDE150-TF 紧凑结构设计适用于研发和小批量生产具有专业的PLC 、PC控制系统

详情介绍：

?离子束辅助沉积

?偏转角度可调的载盘系统

?水冷载盘

?液氮冷却载盘

?选配可升降电子枪盖板，可防止蒸发材料相互污染

?选配送丝机

?选配置膜厚均匀性挡板

?选配散射电子捕获器

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