简单介绍
产品简介
全功能型立柜系统：适用于批量生产，PLC 图形化触控操作系统
配置选项
?法拉第网 ?推拉门/铰链门
产品特点
?无损伤等离子清洗 ?清洗温度低
?无电极溅射污染 ?可清洗细小孔洞和缝隙
?易于操作的图形化界面
技术参数
外形尺寸 : W860 x H1860 x D950 mm
腔体内部尺寸: W425 x H365 x D465mm
微波功率: 2.45 GHz，100-1000W 可调
工艺气路: 标准2 路，包括质量流量计和控制电磁阀等
真空接口： DN40 KF
电源: 380V, 50 / 60 Hz 4.3KW 含真空泵
控制单元： 触摸屏PLC控制
真空规: Pirani真空计或电容式薄膜压力规
主要应用： 材料表面有机污染物去除、表面活性增强及氧化物还原
产品详情
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